主要特点
-
大范围作业
无走行轴，可进行横至2.7m、
高达1.6m的大范围作业、
可对应多种设备的布局。 -
省空间
小型化的旋转半径，
对装置的小型化做出了贡献。 -
高速搬运
实现业界最高水准的作业速度。
为作业时间的缩短做出了贡献。
仕様
- 項目
- 仕様
- 名称
- UTM-R3700F
- 构造
- 垂直多関節形
- 轴数
- 6
- 可搬重量
- 0.5kg/arm（含手臂重量）
- 本体質量
- 154kg
- 无尘度(注)
- 夹紧仕样：ISO Class 3(ISO-14644)
吸着仕样：ISO Class 1(ISO14644)
（注）晶原搬运面周边的无法度。
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