主な特長
-
広範囲動作
走行軸無しで、横方向2.7m、
高さ方向1.6mの広範囲へ
アクセスし、様々な、
装置レイアウトへ対応。 -
省スペース
コンパクトな旋回径で装置の
小型化に貢献。 -
高速動作
業界最高レベルの動作速度を実現。
タクトタイム短縮に貢献します。
仕様
- 項目
- 仕様
- 名称
- UTM-R3700F
- 構造
- 垂直多関節形
- 軸数
- 6
- 可搬重量
- 0.5kg/arm（ハンド重量を含む）
- 本体質量
- 74kg
- クリーン度(注)
- クランプ仕様：ISO Class 3(ISO-14644)
吸着仕様：ISO Class 1(ISO14644)
（注）ウェハ搬送面周辺のクリーン度です。
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