ACTRANS UTM-R3700F 走行軸無しで広範囲動作するウェハ搬送ロボット ACTRANS UTM-R3700F 走行軸無しで広範囲動作するウェハ搬送ロボット

主な特長

  • 広範囲動作

    走行軸無しで、横方向2.7m、
    高さ方向1.6mの広範囲へ
    アクセスし、様々な、
    装置レイアウトへ対応。

  • 省スペース

    コンパクトな旋回径で装置の
    小型化に貢献。

  • 高速動作

    業界最高レベルの動作速度を実現。
    タクトタイム短縮に貢献します。

仕様

項目
仕様
名称
UTM-R3700F
構造
垂直多関節形
軸数
6
可搬重量
0.5kg/arm(ハンド重量を含む)
本体質量
74kg
クリーン度(注)

クランプ仕様:ISO Class 3(ISO-14644)
吸着仕様:ISO Class 1(ISO14644)

(注)ウェハ搬送面周辺のクリーン度です。

  • 製品カタログ
  • 2D CADデータ
  • 3D CADデータ

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